上海航天机电公司研制成功光伏生产线核心装备

发布时间:2009-02-05
  日前,上海市科学技术委员会主持召开了由上海航天汽车机电股份有限公司和上海太阳能科技有限公司承担的上海市科技攻关计划《半导体器件制造工艺关键装备技术的研究》项目验收会。该项目所研制的光伏生产线核心装备PECVD设备完成了关键技术指标,样机已在上海太阳能科技有限公司生产线上实际运作半年以上并取得良好效果。该项目的成功验收标志着国内首台具有核心自主知识产权的PECVD核心光伏生产线装备取得了零的突破。
  在光伏生产线建设中,设备的投资约占70%以上,虽然近年来我国光伏生产线的投资数额不断增大,但是核心装备PECVD却全部依赖于进口。太阳能电池片的加工生产与专用设备之间的关系非常密切,俗称"一代设备,一代工艺,一代产品",它将是不断提高太阳能电池片转换效率和降低制造成本的决定性关键要素。从全球光伏产业30多年的发展历史来看,只有拥有先进核心光伏生产设备,才能在光伏产业中处于领先地位。因此,我国“半导体和集成电路专用装备制造业”的发展已分别被列入《国家中长期科学和技术发展规划》和《“十一五”振兴我国装备制造业的途径与对策》中进行研究,反映了国家对此领域的高度重视。
  上海航天汽车机电公司此次研发的光伏生产线核心装备PECVD设备涵盖了PECVD薄膜工艺技术、光机电一体化技术、真空技术、微波技术、电子与信息技术(包括自动化技术、计算机软件技术、网络通信技术等)、节能技术等多项技术领域,是一项跨越多个技术领域的综合项目。整个研发过程耗时3年多,各上级部门给予了很大的支持和关心,上海航天汽车机电公司管理层对该项目给予高度重视,在研发过程中采用了多项国内领先、国际先进的技术,各项技术指标均达到同类设备的国际先进水平,部分性能优于进口设备,可以完全取代同类进口设备,打破了国外设备的技术垄断,使整个装备的国产化率超过80%。
上海航天汽车机电公司作为航天系统第一家上市公司,在致力于打造垂直一体化光伏产业链的同时,还将积极推进光伏生产装备国产化进程,充分发挥规模化优势,为新一轮跨越式发展注入新的盈利增长点。(吴昊) )