航天机电打破国外技术垄断 成功研制光伏核心装备

发布时间:2009-02-06
  1月22日,由上海航天汽车机电股份有限公司和上海太阳能科技有限公司承担的攻关项目——半导体器件制造工艺关键装备技术,通过了上海市科学技术委员会组织的项目验收。该项目的成功验收,标志着国内首台具有自主知识产权的光伏生产线核心装备等离子体增强化学气相沉积设备(简称PECVD)取得了零的突破。
  据悉,在此之前,PECVD已经完成了关键技术指标的检测,样机已在上海太阳能科技有限公司生产线上运行了半年多,并取得良好效果。
  在光伏生产线建设中,生产设备的投资约占总投资的70%以上,虽然近年来我国光伏生产线的投资数额不断增大,但是核心装备PECVD却全部依赖进口。而太阳能电池片的生产工艺、性能等与PECVD等核心装备关系非常密切,俗称“一代设备、一代工艺、一代产品”,它是提高太阳能电池片转换效率和降低制造成本的关键要素。
  航天机电此次研发的核心装备PECVD涵盖了PECVD薄膜工艺技术、光机电一体化技术、真空技术、节能技术等多个技术领域,整个研发过程历时3年多。在研发过程中,该公司采用了多项国内领先、国际先进的技术,使得各项技术指标均达到同类设备的国际先进水平,部分性能优于进口设备,可以完全取代同类进口设备,对于打破国外的技术垄断具有重要意义。(吴昊)