日前，航天科技集团一院102所自主研制的气体纯度分析仪实现了核心关键技术自主可控，且价格较同类产品降低10%至30%。

高纯气体在精密制造、半导体、航空航天等领域广泛应用。国家科技进步和高精尖技术领域的发展对高纯气体纯度指标也提出更高的要求。气体纯度分析仪主要用于纯度大于99.999%高纯气体中痕量杂质的检测，进而实现高纯气体的纯度分析。

项目负责人介绍，气体纯度分析仪从原理上能检测几乎所有的高纯气体，检测灵敏度可达到十亿分之一的级别，性能达到国际先进水平，满足精密制造、半导体制造、航天航空等领域高纯气体杂质含量准确定量的需求。 

（所宣）